据悉，近日捷佳伟创发文称，常州捷佳创精密机械有限公司国内首台自主研发的电子级硅芯清洗设备目前已经成功下线，将于近日部署至某合作客户处。
据了解，此款硅芯清洗设备是一款用于硅料端制程的硅芯的腐蚀清洗设备，用于清洗硅芯表面有机物、氧化物和金属离子，采用碱洗、酸洗、超声、机能水等工艺，产品可用于高纯光伏硅片和半导体硅片的生产制程，lsbguqlsfr清洗后总表金属≤0.2ppbm。
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根据资料得知，电子级硅芯硅料清洗设备市场份额都被外国厂商占有，而捷佳伟创宣称，目前已实现表金属 0.5ppbw
以上等级的电子级硅料批量出货，2024第一季度将推出 0.1ppbw 以下的产品。
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