三维表面测量仪
面议
品名：三维表面测量仪 3D表面测量三维表面轮廓仪 便携式3D表面测量仪
产地:法国
品牌:PhaseView
测量能力：
3D表面形貌 表面轮廓 粗糙度&波纹 台层高度
应用范围：
膜层太阳能硅片纸张高分子材料砂轮橡胶 金属 探针划痕 焊点
基本指标：
Z轴范围{zd0}至1mm
重复性10nm
测量范围{zd0}至100×100mm
简介：
MicroPhase是与常规显微镜连接使用的便携式3D表面测量仪。即在原有显微镜的基础上直接增加3D表面的测量和分析功能，而无需其他光学或机电附件，是非常灵活和实惠的选择。连接的显微镜要求带有标准C-mount接口。
MicroPhase 指标参数表：
|
物镜 |
5X |
10X |
20X |
50X |
100X |
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|
工作距离，mm |
23.5 |
17.5 |
4.5 |
1 |
1 |
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|
数值孔径 |
0.15 |
0.3 |
0.45 |
0.8 |
0.9 |
|||||
|
测量范围(X,Y)，mm2 |
1.3 x 1.0 |
0.66 x 0.53 |
0.33 x 0.27 |
0.13 x 0.10 |
0.065 x 0.05 |
|||||
|
水平分辨率(X,Y)，um |
2.8 |
1.4 |
0.9 |
0.5 |
0.4 |
|||||
|
GetPhase(GP)/ GetPhase Extended(GPE) |
GP |
GPE |
GP |
GPE |
GP |
GPE |
GP |
GPE |
GP |
GPE |
|
{zd0}角度，degrees |
8 |
89 |
16 |
89 |
24 |
88 |
38 |
84 |
42 |
78 |
|
垂直范围(Z)，um |
35 |
1000 |
9 |
250 |
4 |
62.5 |
1.1 |
10 |
0.8 |
2.5 |
|
垂直分辨率(Z)，um |
0.35 |
6.9 |
0.09 |
1.7 |
0.04 |
0.7 |
0.011 |
0.2 |
0.008 |
0.17 |
|
测量采集点 |
1.3M (1280 x 1024 pixels) |
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|
测量时间，sec |
＜10 |
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粗糙度范围Ra，um |
＞0.01 to 3 |
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机械件接口 |
标准C-mount视频接口 |
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L x W x H，mm |
120 x 74 x 173 |
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重量，kg |
2.5 |
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