工作平台
标准配置450mm×400mm
重复测量精度
2um
(移动范围 300mm×250mm）
扫描间距
5um/10um/20um
大型工作平台可特殊定制
扫描速度
6.7m㎡/s
自动平台
X轴可移动 50mm，Y轴可移动50mm
扫描范围
5.6mm×4.2mm（默认范围）
测量光源
二级红色激光
50mm×50mm（{zd0}范围）
照明光源
白色LED灯
3D模式
3D模擬圈
测量模式
自动全屏测量模式
SPC模式
生产线资料/印刷机资料/
框选自动测量模式
锡膏资料/钢网资料/
框选普通测量模式
测量结果可分别独立分析X_Bar & R圈分析
点高度测量模式
直方圈分析 & Ca/Cp/Cpk结果输出
测理结果输出
平均高度/{zg}点/{zd1}点
6Sigma自动判异功能
/体积/印刷面积
Leam模式/Program测量模式
视场
5.6mm×4.2mm
其它功能
测试点自动回中心功能
测量数据密度
30万数据点/视场
操作系统
Windows XP
高度分辩率
1um
工作电源
AC110V/60H或220V/50Hz
包装规格
长800mm×宽620mm×高600mm
包装重量
55Kgs
