洁净技术,是适应实验研究与产品加工的精密化、微型化、高纯度、高质量和高可靠性等方面要求而诞生的一门新兴技术。 洁净室(cleanroom)这个名词和概念源于18世纪六十年代的欧洲医学,当时的理解xx于经喷洒xx后可以控制创部感染率的处置室、手术室这类xx处理的工作环境。 现代洁净室虽然延用了这个名词,但在定义和内涵上都与原有的概念有根本的不同,现代洁净室形成一项专门技术,其历史不过只有半个世纪。
随着现代技术(航天技术、原子能技术、电子技术等)的迅速发展,对一些产品部件的精度要求愈来愈高,因此要求建造洁净厂房,以防止产品在生产过程中受到尘粒污染或xx污染。第二次世界大战后,美国、欧洲国家和日本都先后建成洁净厂房。中国在50年代曾建设一些无窗密闭厂房,60年代研制成{gx}过滤器、净化工作台和装配式洁净室等设备,以后在电子工业等部门建成一些洁净厂房,如常州的半导体厂。
总体布置 厂址宜选在空气自净条件好,大气含尘量低的地区,要求远离铁路、机场、码头和交通要道,避开散发大量粉尘的工厂、堆场等污染源。总体布置应按不同的净化要求分区。洁净区应处于一般生产区和污染区的上风位,并须全面规划,布置道路和绿化,以改善小区环境,有条件的宜设置水池、喷泉等。有洁净要求的工厂通常由一般生产用房、洁净厂房和辅助用房等组成。