短弧汞氙灯,又名平行光曝光灯.功率主要有5000W,3000W,8000W等,用途最广泛的是5000W平行曝光灯.球形高压短弧汞氙灯
英文名称是Mercury Xenon Short Arc Lamps
该灯光谱范围主要在325nm~450nm之间，是在高压汞蒸气中产生电弧发光的短弧灯，此类灯管具有高 辐射 、多线光谱 、在紫外光区有较高的辐射能量 、寿命长、高光学质量等优点，适用于全自动曝光系
统和半导体生产光刻。
主要规格型号：日本USHIO系列型号有:PC-5001CBT,PC-5001CSN,PC-5001CBTL,PC-5001CSNL,PC-5002RC,PC-5002AD,PC- 5001TA;PC-5000MF,PC-5000SG、PC-3500SG；、同时还有点光源平行光曝光灯：型号有：ＳＵＶ-1003ＦＡ；ＵＶＬ-3500ＳＩ；ＵＳＨ-5000ＭＧ，UXM-5000TA、USH-3502MA，USH-2004MB、HSA－2002－30341.............
美国ORC型号有:HVF-5001CBT/R,HVF-5001CSN/R,HVF-5000MFN/R,HVF-5002AD/R,
