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长安净化工程中空气洁净度所要控制的对象空气洁净度主要控制两个对象:一是可能造成损害的空气中最小微粒直径:二是可能造成损害的空气中的微粒数量。
1 控制的最小粒径:过去,首先由于精密机械的需要,主要从机械的角度——堵塞、磨损等方面考虑可能损害产品的最小微粒直径.即该直径应小于产品上的某种几何距离——元件之间的公差、可隙、线距、线宽等等。但是又估计到,小微粒能凝集成大微粒,或者几十小微粒同时落到产品的敷命处,因此,通常把这种几何距离的一半至1,3定为控制的最小粒径。由于进类几何距离可以小到约lum,所以0.5um这一粒径长期以来成为空气洁净技术上要控制的最小粒径。除此以外.还因为:在用白炽灯作光源的散射光式粒子计数器测定时,只有0.3um以上的微粒处于适于光散射的区域;但是仪器对0.3um这~档又比0.5um采样效率低,这就限制丁粒径控制下限,一般只取到0.5um。但是.由于集成电路的发展,
长安净化工程对最小微粒直径提出丁更高的要求。一方面因为集成电路上某种几何距离更小丁:某一潦层或掩膜的厚度只有十分之几甚至百分之几微米.元件上导电线条的间距或元件与元件之闻的金属联线的宽度(称为基本图形尺寸)或特征尺寸在超大规模集成电路剐出现时已选到1pm,现在已减少到0.18pm了。另一方而,因为不仅需要从机械的角度更需要从物理化学的角度来确定最小粒释.一颗尘粒即使是在某个几何距离例如某一涂层厚度之内.也可能形成针孔和杂质源面破坏产品的性能。所以最小微粒直径进一步要求控制在基本图形尺寸的3/1--10/1之间,下限更底了。
2 控制的微粒数量
各种工艺需要控制的微粒(≥控制粒径)数量不同,但若以这些数量来制订
长安净化工程洁净度标准必然很复杂。蜘如一种工艺不允许每引空气中有这种微粒110个,另一抻工艺则不允许有130但这两种情况所采用的空气净化手段差别又很小,这样就投有必要定出两个不同的级别。因此.制订空气洁净度标准(级别)所用的控制微粒数,宜按以下原则画出几个范围:
(1)为现有措施所能达到。(2)在经济上能明显区别。(3)在使用上比较方便