1.0.1洁净厂房设计必须做到技术先进、经济适用、安全可靠、确保质量,并应符合节约能源、劳动卫生和环境保护的要求。
1.0.2本规范适用于新建、扩建和改建洁净厂房的设计。
1.0.3洁净厂房设计应为施工安装、维护管理、检修测试和安全运行创造必要的条件。
1.0.4洁净厂房设计除应按本规范执行外,尚应符合现行的有关强制性国家标准、规范的规定。
2.0.1洁净室 clean room
空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留粒子。室内其它有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。
2.0.2洁净区 clean zone
空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。它的建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留粒子。空间内其它有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。洁净区可以是开放式或封闭式。
2.0.3移动式洁净小室 clean booth
可整体移动位置的小型洁净室。有刚性或薄膜围档两类。
2.0.4人身净化用室 room for cleaning human body
人员在进入洁净区之前按一定程序进行净化的房间。
2.0.5物料净化用室 room for cleaning material
物料在进入洁净区之前按一定程序进行净化的房间。
2.0.6粒径 partical size
由给定的粒子尺寸测定仪响应当量于被测粒子等效的球体直径。对离散粒子计数、光散射仪器采用当量光学直径。
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