型号:17
1、采用多反射镜实现均匀照明;
2、采用球气浮找平,调平精度高;
3、高倍率双目双视场显微镜和19英寸宽屏液晶显示同时观察对准过程,
并提供USB输出;既满足高精度对准,又可用于检测曝光结果,且曝光
结果和方便存储;
4、曝光波长采用纯净365nm,冷光照明(曝光面能量5mW/cm ,温度小于35度)
5、手动上下版、样片,手动调平;手动分离间隙。
6、快门可以单独开启,也可以数字设定自动xxx曝光(设定范围0.1s-9999s)
7、采用200W进口(德国)直流汞灯,可调节光的能量密度;设备外形美观精制
性能非常可靠
二、主要技术指标:
1、曝光面积:ф100mm;
2、分辨力: 1.7µm(胶厚2 µm的正胶);
3、对准精度: ±1µm;
4、掩模样片整体运动范围:X:6mm;Y:6mm;
5、掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch;
6、样片尺寸:直径ф15mm-- ф100mm、
厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm);
7、照明均匀性:±6%(ф100mm 范围);
8、掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°;
9、汞灯功率:200W(直流);
10、曝光波长:365nml
11、曝光能量密度:6mW/cm (420nm以上波长小于0.2mW/cm )l
12、曝光方式:定时(到计时方式)
13、外形尺寸:650mm(长)´600mm(宽)´900mm(高)