蓝宝石压力传感器

抗腐蚀的陶瓷压力传感器没有液体的传递，
压力直接作用在陶瓷膜片的前表
面，
使膜片产生微小的形变，
厚膜电阻印刷在陶瓷膜片的背面，
连接成一个惠斯
通电桥（闭桥），由于压敏电阻的压阻效应，使电桥产生一个与压力成正比的高
度线性、
与激励电压也成正比的电压信号，
标准的信号根据压力量程的不同标定
为
2.0 / 3.0 / 3.3 mV/V
等，可以和应变式传感器相兼容。通过激光标定，传感器
具有很高的温度稳定性和时间稳定性，传感器自带温度补偿
0
～
70
℃，并可以
和绝大多数介质直接接触。
 
 
 
 
 
 
陶瓷是一种公认的高弹性、抗腐蚀、抗磨损、抗冲击和振动的材料。陶瓷的
热稳定特性及它的厚膜电阻可以使它的工作温度范围高达
-40
～
135
℃，而且
具有测量的高精度、高稳定性。电气绝缘程度
>2kV
，输出信号强，长期稳定性
好。
高特性，
低价格的陶瓷传感器将是压力传感器的发展方向，
在欧美国家有全
面替代其它类型传感器的趋势，
在中国也越来越多的用户使用陶瓷传感器替代扩
散硅压力传感器。
 
 
 
 
 
 
3
、扩散硅压力传感器原理及应用
 
 
工作原理被测介质的压力直接作用于传感器的膜片上
（不锈钢或陶瓷）
，
使
膜片产生与介质压力成正比的微位移，
使传感器的电阻值发生变化，
和用电子线
路检测这一变化，并转换输出一个对应于这一压力的标准测量信号。
 
 4
、蓝宝石压力传感器原理与应用
 
 利用应变电阻式工作原理，采用硅
-
蓝宝石作为半导体敏感元件，具有无与
伦比的计量特性
 
 
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