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四氟化碳(CF4)

四氟化碳

产品名称	技术标准
产品名称	纯度 % （ V/V ）≥	氧含量 % ≤	氮含量 % ≤	酸度（ HG/G ）≤	一氧化碳 % ≤	水份含量 ppm ≤
四氟化碳	99.9	0.035	0.035	1.0	0.002	5
四氟化碳	99.995	0.02	0.02	0.1	0.01	3
四氟化碳	99.999	0.01	0.01	0.1	0.001	2
性状 : 在常温下 , 四氟化碳是无色、无臭、不燃的可压缩性气体，挥发性较高，是最稳定的有机化合物之一。
物性：分子量 88.005 ，熔点 -186.8 ℃ ,沸点-128℃,液体密度：1603kg/m 3 ,气体密度3.946kg/m 3 ，相对密度 3.05，比容0.2747m 3 /kg，气液容积比：436L/L，临界温度：-45.6℃，临界密度629kg/m 3 熔化热： 7.609kj/kg，气化热：135.65kj/kg。
用途 : 四氟化碳是目前微电子工业用量{zd0}的等离子蚀刻气体，在电子器件表面清洗，太阳能电池的生产，激光技术，气相绝缘低温制冷，泄漏检验剂，印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用
注意事项：一般认为是惰性低毒物质，在高浓度下是窒息剂，其毒性不及xxxx。

四氟化碳，又称为四氟甲烷、东莞四氟化碳Freon-14及R 14，是一种卤代烃（化学式：CF4）。它既可以被视为一种卤代烃、卤代甲烷、全氟化碳，也可以被视为一种无机化合物。
零下198 °C时，四氟化碳具有单斜的结构，晶格常数为a = 8.597, b= 4.433, c = 8.381 (.10-1 nm), β = 118.73° 。

化学性质:
相对分子量88.00。在常温下，四氟化碳是无色、无臭、不燃的易压缩性气体，挥发性较高，是最稳定的有机化合物之一，不易溶于水。在900℃时，不与铜、镍、钨、钼反应，仅在碳弧温度下缓慢分解，微溶于水，在25℃及0.1Mpa下其溶解度为0.0015%（重量比），然而与可燃性气体燃烧时，会分解产生有毒氟化物。

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