|
产品说明：
采用了独特的数字位移传感器，实现了高精度·高刚性·高速度和理论分辨率达1nm的压电陶瓷平台。
特点：
● 采用了独特的数字位移传感器，可实现高精度·高刚性·高速度的压电陶瓷平台。
● 采用压电陶瓷作为驱动机构，开环控制时的行程为90μm〜100μm，理论分辨率达1nm。
● 位置检测采用了数字位移传感器（频率→数字变换方式的微小位移传感器），闭环控制时的显示分辨率为10nm。
● 使用FINE系列控制器，可实现高速定位。
● 重复驱动SFS-H（直动）系列平台，可达10〜15Hz的频率。若使用FINE-01γ的模拟信号驱动时，可达25Hz。
|
