韩国VPS P系列干式螺杆真空泵 干式真空泵 耐腐蚀 哈氏合金 无水无油

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    {zj0}的极限压力xx无油无水

      干式螺杆真空泵使用了独特的螺杆转子型线,排气温度低,工艺稳定,适用于各种领域的真空工艺,也维持了{zj0}的真空效率和耐用性。
      介质不经过油和水,用可变压缩方式操作,水蒸气和液态混合工艺,非常适合干燥、溶剂回收、化工、制药、塑料等各种真空工艺。

    VPS干式螺杆真空泵特征

    1) 工作腔内无水无油,通过转子转动产生清洁真空。
    2) 单级设计可使固体废弃物更容易排出并大幅减少留在泵内的残余物。
    3) 通过特殊涂层处理,可用于抽取有毒、有腐蚀性及可凝性气体。
    4) 工作方式不使用油或水,大幅降低操作成本。
    5) 密封方式为机械或双唇密封。
    6) 简便的设计易于设备维护。
    7) 螺杆与螺杆之间及泵体与螺杆之间无接触,使用寿命长。
    8) 气体通过泵体可迅速排出。
    9) 螺杆转子具有较高的容积效率。
    10) 较低的转速可降低振动及噪音。

    干式螺杆泵的应用范围:

      在半导体合成及液晶生产上的应用,主要有半导体等离子增强气相沉淀(PECVD)和反映离子刻蚀(RIE)工艺,液晶生产蚀刻制程和生产TFT荧幕电浆(PLASMA)的CVD制程中。此工艺要求返流为0,以保护工件免受污染。
      在石油化工中,主要是抽取可凝性气体,或有毒气体,或腐蚀性气体,或含有微尘的气体。
      制药行业,用于xx的真空干燥,xx中间体回收,回收气体消毒剂,为人造器官提供清洁无菌条件等。
      化工中用于真空蒸馏及溶剂萃取回收,例如萃取回收丙酮,多元醇等工艺
      工业排气;集中式真空处理系统
      挤出机的混合工艺及板材的排气工艺
      混合树脂脱腥工艺;在脂肪酸生产中用于xx水污染,及喷射器中的阻塞物。
      涉及无忧污水真空处理的所有应用
      食品行业用于香料,香精浓度,食品包装等。

    韩国VPS中型干式螺杆真空泵参数表

    型 号

    VPS-P150

    VPS-P300

    VPS-P400

    VPS-P800

    抽 速
    50/60Hz

    M3/h

    120/150

    250/300

    330/400

    680/800

    CFM

    70.6/88.3

    147.1/176.5

    194.2/235.4

    400.2/470.8

    极限
    压力

    (Torr)

    0.3/0.5

    0.2/0.1

    0.04/0.03

    0.03/0.02

    (Pa)

    40/20

    26.7/13.3

    5.3/4.0

    4.0/2.7

    电机功率(Kw,50/60Hz)

    5.5

    7.5/11

    11/15

    18.5/22

    泵转速(RPM) 50/60Hz

    2900/3450

    2900/3450

    2900/3450

    2900/3450

    口径

    入口(A)

    40

    50

    65

    100

    出口(B)

    40

    40

    50

    65

    齿轮油(L)

    1.3

    1.6

    2

    4

    冷却水(L/min)

    3

    5

    7

    10

    重量(Kg,泵体)

    220

    320

    410

    630

     

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