MTM-3020MA 金相显微镜
¥：1.00
特点：
测量型金相显微镜是一种兼顾影像、目视与纳米高度测量多用的高精度、{gx}率测量仪器。该产品具有电视成像与目视光学两套瞄准系统，可人工观察金属表面的金相组织结构，是集光、机、电、算、影像于一体的显微镜。该产品以二维测量为主，也可作三维辅助测量，广泛应用于电子组件、精密模具、塑料、PCB加工方面、镀膜厚度、手机玻璃等工业领域。
特点：
1. X、Y、Z三轴0.5μm分辨力
2. 电动Z轴分辨力0.1μm
3. 具有高度自动测量
4. 内建偏光测量光学模块
5. 高速/无接触测量
6. 同轴光/底光测量
7. 可搭配白光纳米检测模块测量纳米级厚度
技术规格参数：|
型号
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MTM-3020MA
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工作台
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金属台尺寸(mm)
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500 x 330
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玻璃台尺寸(mm)
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350 x 250
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X、Y轴运动行程(mm)
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300 x 200
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手动Z轴行程(mm)
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120
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自动Z轴行程(mm)
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2
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外形尺寸(mm)
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825 x 660 x 910
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仪器重量(kg)
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130
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X、Y、Z轴分辨力(μm)
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0.5
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自动Z轴分辨力(μm)
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0.1
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示值误差(μm)
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E1XY=( 2.5+ L/100) μm (L为测量长度，单位mm) |
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物镜放大倍数误差
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包括畸变在内的放大率误差≦0.08%
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落射照明光源
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可调高亮度卤素灯
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底光照明光源
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可调高亮度LED灯源
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目视系统
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影像系统
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物镜放大倍数
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5X、10X、20X、50X
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5X、10X、20X、50X；10X Mirau物镜
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目镜放大倍数
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10X双镜筒
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1/2”CCD摄像机
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视频总倍率
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50X ~500X
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142.5X ~1425X (19.5”显示器，分辨率1440 x 900)
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单层透明膜厚度测量模组
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高精度测量模式
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快速测量模式
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厚度测量范围
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100nm ~300nm
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300nm ~500nm
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500nm ~3μm
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3μm ~20μm
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分辨力
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5nm
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5nm
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7.5nm
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0.1μm
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