
| X1 轴 (驱动部) | |
| 测量范围 : | 100mm |
| 分辨率 : | 0.05µm |
| 长度基准 : | 线性编码器 |
| 驱动速度 : | 0 - 40mm/s |
| 测量速度 : | 0.02 - 5mm/s |
| 移动方向 : | 向后 |
| 直线度 : | 0.15µm / 100mm |
| Z2 轴 (立柱) | |
| 类型 : | 手动操作或电驱动 |
| 垂直移动 : | 350mm 或 550mm* |
| 分辨率 *: | 1µm |
| 检测方法 *: | 旋转编码器 |
| 驱动速度 *: | 0 - 20mm/s |
| * 仅适于电驱动型 | |
| 检出器范围/分辨率 : | 800µm / 0.01µm, 80µm /0.001µm, 8µm / 0.0001µm |
| 检测方法 : | 无轨 |
| 测力 : | 参见性能参数表 |
| 测针针尖 : | 参见性能参数表 |
| 类型 : | 差动电感式 |
| 控制器 | |
| 显示 : | 7.5" 带背光的 TFT 彩显 |
| 打印机 : | 内置热敏打印机 |
| 放大倍率 : | 水平 : X0.5 - X10,000, 自动 |
| 垂直 : | X10 - X500,000, 自动 |
| 驱动装置的控制 : | 通过操纵杆手动手柄的操作 |
性能参数:
| 型号 | SV-2100S4 | SV-2100S4 | SV-2100H4 | SV-2100H4 | SV-2100W4 |
SV-2100W4
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| 货号 (公制) | 178-680-01 | 178-680-02 | 178-682-01 | 178-682-02 | 178-684-01 |
178-684-02
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| 测针针尖 | 针尖角度 | 60º | 90º | 60º | 90º | 60º | 90º |
| {jd0}半径 | 2µm | 5µm | 2µm | 5µm | 2µm | 5µm | |
| 检出器测力 | 0.75mN | 4mN | 0.75mN | 4mN | 0.75mN | 4mN | |
| X 轴测量范围 | 100mm | 100mm | 100mm | ||||
| 垂直移动 | 350mm 电动立柱 | 550mm 电动立柱 |
550mm 电动立柱
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| 花岗岩基座尺寸 (WxD) | 600 x 450mm | 600 x 450mm |
1000 x 450mm
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| 尺寸 (主机 , WxDxH) | 766 x 482 x 966mm | 766 x 482 x 1166mm |
1166 x 482 x 1176mm
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| 重量 | 147kg | 157kg | 227kg | ||||