山东真空排气装置_超高真空排气批
高真空排气机组
设备特点与技术指标：
1.真空获得为复合分子泵+机械泵，设备真空度在分子泵气动到100HZ后优于3*10-3pa；30分钟以内优于5*10-4pa；极限真空3*10-5pa。
2.机组为可移动台式小车结构，能够满足不同位置排气的需要。机组配备预抽排气系统，可在分子泵不停止的状态下实现换工件、预抽真空、抽高真空的排气流程，缩短了排气时间，有效提高了工作效率。
机组配置：
600升风冷复合分子泵1套
爱德华rv-8机械泵台
cf150动插板阀1只
高真空复合真空计1套（包括cf35电离规、kf16热偶规）
直径150mm*200mm真空室1套
带脚轮、围板及不锈钢台面的小车1套
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