中山银旋转靶材

东莞市鼎伟靶材有限公司是专业生产纯属材料，蒸镀膜材料以及溅射靶材的技术企业应用的科技型民营股份制工贸有限公司。公司以青岛大学和青岛科技大学蒸材料专业为技术依托，拥有多名中级专业技术人员和专业化应用实验室，有很强的蒸材料能力。公司先后研的蒸材料、溅射靶材系列产品广泛应用到国内外众多知名子、太阳能企业当中，以较的价比，成功替代了国外进口产品，颇受用户好评。

中山银旋转靶材

公司主要经营产品： 

一、真空镀膜材料 

1．纯真空溅射靶材（99.9％——99.999％）

纯属靶材：锆靶Zr、铬靶Cr、钛靶Ti、铝靶Al、锡靶Sn、钒靶V、锑靶Sb、铟靶、硼靶B、钨靶W、锰靶Mn、铋靶Bi、铜靶Cu、石墨靶C、硅靶 Si、钽靶 Ta、锌靶Zn、镁靶Mg、铌靶Nb、钼靶Mo、钴靶Co、铁靶Fe、锗靶Ge、铪靶Hf、铅靶Pb、镍靶Ni、银靶Ag、硒靶Se、铍靶Be、碲靶Te、不锈钢靶材S.S等……

多元合靶材： 钛铝靶Ti-Al、钛锆靶Ti-Zr、钛硅靶Ti-Si、钛镍靶Ti-Ni、镍铬靶Ni-Gr、镍铝靶Ni-Al、镍钒靶Ni-V、镍铁靶Ni-Fe、铁钴靶Fe-Co、铝硅靶Al-Si、钛硅靶Ti-Si、铬硅靶Cr-Si、锌铝靶Zn-Al、钛锌靶材Ti-Zn、铝硅铜靶Al-Si-Cu等……

陶瓷溅射靶材：ITO靶、单晶硅靶、多晶硅靶、一氧化硅靶SiO、二氧化硅靶SiO2、二氧化钛靶TiO2、氧化锆靶ZrO2、二硼化钛靶TiB2、氧化镁靶MgO、碳化硼靶BC、氮化硼靶BN、碳化硅靶SiC、三氧化二钇靶Y2O3、五氧化二钒靶V2O5、氧化锌靶ZnO、硫化锌靶ZnS、硫化钼靶MoS、硫化钨靶WS、氧化锌铝靶ZAO、氧化铝靶Al2O3、钛酸锶靶SrTiO3、五氧化二钽靶Ta2O5、五氧化二铌靶Nb2O5、氧化锌镓靶ZGO、氧化锌硼靶ZBO、砷化镓靶GaAs，磷化镓靶GaP，硒化锌靶、锰酸锂靶、镍钴酸锂靶、钽酸锂靶，铌酸锂靶、等… 

稀土属靶：镧靶、铈靶、镨靶、钕靶、钐靶、铕靶、钆靶、铽靶、镝靶、钬靶、铒靶、铥靶、镱靶、镥靶、钇靶等… 

稀土氧化物靶：氧化镧靶、氧化铈靶、氧化镨靶、氧化钐靶、氧化铕靶、氧化钕靶、氧化钆靶、氧化铽靶、氧化镝靶、氧化钬靶、氧化铒靶、氧化铥靶、氧化镱靶、氧化镥靶 

属膜阻器用Ni-Cr-Si/ Ni-Cr-Mn-Cu溅射靶材：

属膜阻器用靶材括阻系列（ZYG）、中阻系列（ZYZ）和低阻系列（ZYC）、超低阻系列（ZYCD）。

2．纯光学镀膜材料（99.99％——99.999％）

氧化物：一氧化硅、二氧化硅、一氧化钛、二氧化钛、三氧化二钛、五氧化三钛、二氧化锆、二氧化铪、二氧化铈、二钛酸镨、三氧化钨、五氧化二钽、五氧化二铌、三氧化二钪、三氧化二铝、三氧化二铟、氧化镱、氧化锌、氧化镁、氧化钆、氧化钐、氧化钕、氧化钙、氧化镨、氧化铋、氧化铬、氧化镍、氧化铜、氧化铁、氧化钒等… 

氟化物：氟化镁、氟化钙、氟化钕、氟化镧、氟化镱、氟化钇、氟化铒、氟化钐、氟化镝、氟化铈、氟化钡、氟化锶、氟化钾、氟化钠等… 

硫化物：硫化锌、硫化钼、硫化钙、硫化锑、硫化铁、硫化钠等…

名称

尺寸

纯度

银丝（Ag）

Φ0.2—1.0mm

99.9% 99.99% 99.999% 99.9995+% 99.9999% 99.9999+%

Φ1.0—3.0mm

99.9% 99.99% 99.999% 99.9995+% 99.9999% 99.9999+%

Φ3.0—6.0mm

99.9% 99.99% 99.999% 99.9995+% 99.9999% 99.9999+%

银片（Ag）

50*50*(0.2-1.5)mm

99.9% 99.99% 99.999% 99.999+% 99.9999% 99.9999+%

100*100*(0.2-1.5)mm

99.9% 99.99% 99.999% 99.999+% 99.9999% 99.9999+%

200*250*(0.2-1.5)mm

99.9% 99.99% 99.999% 99.999+% 99.9999% 99.9999+%

银棒（Ag）

Φ（10-152.4）*1000mmT18937326747(不是联系方式)

99.9% 99.99% 99.999% 99.999+% 99.9999% 99.9999+%

Φ25.4*1000mm

99.9% 99.99% 99.999% 99.999+% 99.9999% 99.9999+%

Φ50.8*500mm

99.9% 99.99% 99.999% 99.999+% 99.9999% 99.9999+%

Φ76.2*200mm

99.9% 99.99% 99.999% 99.999+% 99.9999% 99.9999+%

Φ101.6*200mm

99.9% 99.99% 99.999% 99.999+% 99.9999% 99.9999+%

Φ127*200mm

99.9% 99.99% 99.999% 99.999+% 99.9999% 99.9999+%

Φ152.4*200mm

99.9% 99.99% 99.999% 99.999+% 99.9999% 99.9999+%

银粒（Ag）

           1-10mm

99.9% 99.99% 99.999% 99.999+% 99.9999% 99.9999+%

Φ2*10mm

99.9% 99.99% 99.999% 99.999+% 99.9999% 99.9999+%

Φ3*3mm

99.9% 99.99% 99.999% 99.999+% 99.9999% 99.9999+%

Φ3*10mm

99.9% 99.99% 99.999% 99.999+% 99.9999% 99.9999+%

Φ6*6mm

99.9% 99.99% 99.999% 99.999+% 99.9999% 99.9999+%

Φ6*12mm

99.9% 99.99% 99.999% 99.999+% 99.9999% 99.9999+%

银块（Ag）

10-100mm

99.9% 99.99% 99.999% 99.999+% 99.9999% 99.9999+%

银粉（Ag）

0.5-75um

99.5% 99.9% 99.95% 99.99%

标准装为：100g 250g 500g 1000g 10kg 25kg 50kg

半导体领域应用靶材是靶材市场的主要组 成之一。在1991年的靶材市场销售额中，有约’"60%为半导体领域应用靶材，35%用于记录介质领 域，5%为显示领域用靶材及其他。近年来，半导体领域应用靶材以近10%的年长率长［ 在硅片制成各种晶体管、二极管等元器件后，根据路设计要求，将这些元器件用属薄膜线条连接起来，形成有各种功能的集成路的工艺称为属化。属化工艺是硅集成路制造工艺中非常重要的环节。属化系统和属化工艺的优劣 会影响路的能和可靠。

【原创内容】
清洁。第四步在xx完有污垢的区域后，再用压低水气的氩气冲洗靶材，以除去所有可能在溅射系统中会造成起弧的杂质粒三、靶材安装靶材安装过程中最重要的意事项是一定时建议使用工业吸尘器进行辅助清洁。展属生产的靶材采用真空密封塑料袋装,内置防潮剂。使用靶材时请不要用手直接接触靶材。意：使用靶材时请配带干净而且不会起绒清洁。第四步在xx完有污垢的区域后，再用压低水气的氩气冲洗靶材，以除去所有可能在溅射系统中会造成起弧的杂质粒三、靶材安装靶材安装过程中最重要的意事项是一定用户对背靶的检查结果，如我们现有需要维修的地方会书面通知户并提供维修报价。影响靶材中的因素主要是反应气体和溅射气体的比例，反应气体过量就会导致靶中。反应属钼作为背靶材料。不锈钢管(SST)–目前最常使用不锈钢管作为旋转靶材的背管，因为不锈钢管有良好的强度和导热而且非常经济二、背靶重复使用大部分背靶可以重复使用，尤我们现有需要维修的地方会书面通知户并提供维修报价三、装和运输所有已贴合靶材装在真空密封塑料袋中，并附有防潮剂。外装一般为木箱，四周有防撞层，以保护靶材直接影响真空度获得和加成膜失败的可能。短路或靶材起弧，成膜表面粗糙及化学杂质含量超标经常是由于不洁净的溅射室、溅射枪和靶材引起的。为保持镀膜的成分特，溅射第二步与{dy}步类似用酒精清洁；第三步用去离子水清洗。在用去离子水清洗过后再将靶材放置在烘箱中以100摄氏度烘干30分钟。氧化物及陶瓷靶材的清洗建洁用“无绒布”进行