干洁大气由多种气体混合组成[1] 。
(1) 按浓度分:
按照各成分在大气中的浓度,可分为主要成分、微量成分和痕量成分(次要成分)。
1)主要成分:N2、O2、Ar、CO2等,其容积含量占全部干洁空气的 99.99% 以上。
2)微量成分:浓度在1~20 ppmv,如CH4等
3)痕量成分:浓度在1 ppmv以下,重要的bao括O3、H2、氮氧化合物、硫化物及人为污染物fu氯化烃类化合物等。
纯氩:
纯度:≥99.99%,含氧量:≤10PPM,含氮量:≤50PPM,总碳量:≤10PPM,含水量:≤15PPM;
高纯氩:
纯度:≥99.999%,含氧量:≤1.5PPM,含氮量:≤50PPM,总碳量:≤4PPM,含水量:≤3PPM.