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臭氧的产生方式主要有：电晕法、电解法、紫外线法、核辐射法、等离子体法等等。食品、医院及制药等企业已经投入应用的臭氧发生技术主要有电晕放电法和低压电解法。电晕高压放电法电晕放电法产出臭氧的原理是两个平行的高压电极之间平行放置一个介电体（通常采用硬质玻璃或陶瓷作介电体也有用不锈钢），并保持一定的放电间隙，当在两极间通入高压交流电时，在放电间隙，形成均匀的蓝紫色电晕放电，空气或氧气通过放电间隙，氧分子受到电子的激发获得能量，并相互方式弹性碰撞，聚合成臭氧分子。