洁净机器人洁净机器人是一种在洁净环境中使用的工业机器人。
随着生产技术水平不断提高,其对生产环境的要求也日益苛刻,很多现工业产品生产都要求在洁净环境进行,洁净机器人是洁净环境下生产需要的关键设备。
关键技术bao括:
(1)洁净润滑技术:通过采用负压抑尘结构和非挥发性润滑脂,实现对环境无颗粒污染,满足洁净要求。
(2)高速平稳控制技术:通过轨迹优化和提高关节伺fu性能,实现洁净搬运的平稳性。
(3)控制器的小型化技术:根据洁净室建造和运营成本高,通过控制器小型化技术减小洁净机器人的占用空间。
(4)晶圆检测技术:通过光学传感器,能够通过机器人的扫描,获得卡匣中晶圆有无缺片、倾斜等信息。
示教输入型的示教方法有两种:
一种是由操作者用手动控制器,将指令信号传给驱动系统,使执行机构按要求的动作顺序和运动轨迹操演一遍;
另一种是由操作者直接领动执行机构,按要求的动作顺序和运动轨迹操演一遍。
在示教过程的同时,工作程序的信息即自动存入程序存储器中在机器人自动工作时,控制系统从程序存储器中检出相应信息,将指令信号传给驱动机构,使执行机构再现示教的各种动作。示教输入程序的工业机器人称为示教再现型工业机器人。