同轴ECR等离子源微波头销售-TFnalyzer铁电压电分析仪-欣源科技（北京）有限公司
Plasma Sources 等离子源系列
法SIREM公司是拥有40多年的微波和射频工程经验的高科技公司，可为用定制电子设计、应用开、工艺设计和生产标准化的微波、射频、直流生器、等离子源等相关产品。
微波技术在等离子实验室和工业中不断新的应用，这是由于微波等离子的许多优点，例如，超密度等离子-离子和活物种，电极更少，在各种压力下的操作。微波辅助等离子在金刚石沉积、表面活化、菌、纳米材料合成、气净化等方面的应用。
为了满足这些复杂技术要求的越来越苛刻的要求，我们已经开出了自己的等离子源和应器。
我们可以提关于选择等离子设备和适合你需要的微波频率的建议，还可根据要求提特殊配置，并且乐于帮助开您自己应用的设备。
要应用领域：
分析
金刚石沉积
表面清洗
蚀刻
防止污染
化学合成
(301)Downstream 等离子源
这种表面波的等离子源产生等离子，在个标准的WR340波导中（直径20-60毫米）。这种等离子源可以根据压力、微波功率和等离子气的质，使长等离子的点火和维持。
压力范围：10-2mbar到大气压力
气类型：r，N2，O2，空气，……
{zd0}功率：6kW
应用类型：自由基/应物种的产生，表面xx，PECVD，气减排，气化，xx（UV），纳米粒子合成
(302)Sur-fa-guide 等离子源
压力范围：mbar到atm
要用于：气减排、气化、xx、纳米粉合成、表面活化、大气高温化学
(303)UR W--V-E 同轴ECR等离子源（低压等离子）
KF/CF法兰，橡胶密封圈/无氧铜密封圈，搭配固态微波生器，可组成阵列
(304)HI- W--V-E 同轴碰撞型等离子源（中压等离子）
KF/CF法兰，橡胶密封圈/无氧铜密封圈，搭配固态微波生器，可组成阵列
(305)S- W--V-E等离子源（Sur-face W--V-E plasma source 表面波等离子源，搭配固态微波生器），要特点：
频率2450MHz±50MHz
{zd0}微波功率200W
集成到DBD点火系统（Dielectric Barrier Discharge介质阻挡放电点火系统）
压力范围10-2mbar到大气压
r和基于r基混合物可在1atm下使用
有气都可在更低压力下使用
直径6或8毫米的电介质管
Swagelok 6mm气连接器
要应用领域：表面活化、元素分析、原子层沉积、气减排、分子xx/物质活化、菌消、减少xx附着、慢伤口和受感染皮肤的xx
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