双光束激光干涉仪 aixDBLI
(Double Beam Laser Interferometer)
双光束激光干涉仪专门用于压电薄膜的蝴蝶曲线和纵向压电系数d33的测试。
这是世界第台适合于从小尺寸薄膜到8英寸晶圆表征的双光束激光干涉仪。
半自动的系统用于8"晶圆的MEMS器件的压电和电相关能的测试。
大量样品测试的重复精度可达2%以。
测试功能:
机电大信号应变、极化、压电系数、小信号介电常数。
疲劳和电及机械能可靠。
样品测试:
极化曲线和位移曲线。
小信号电容及压电系数。
技术参数:
分辨率: ≤1 pm(X晶向的石英)
测量范围:5pm- /- 25nm
波长:632.8nm
位移/应力测试:>50Hz,最小1Hz分辨灬率,100mV到10V(可选到200V)
压电d33系数:
基电压100mV到10V(1mHz到1Hz),可选到200V
小信号100mV到10V(1kHz到5kHz)
C-V测试:
基电压100mV到10V(1mHz到1Hz),可选到200V
小信号100mV到10V(1kHz到5kHz)
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