洁净室的地板系统除了需要给在这个区域工作的人们提供稳定的立足点外,还要提供更多东西,例如把洁净的空气送入房间,支撑加工艺设备,为必要的设备维修提供方便的通道,并且还要具备坚固的表面保证设备可以在上面进行改造。洁净室的地板也提供了电力系统的接地,起到传导和静电耗散的作用,xxESD积累。
由于所有这些原因,洁净室的地板成为整个洁净室中最重要的组成部分。然而,很多设备经理或工具安装人员,在使用洁净室时都会碰到地板带来的麻烦。举个例子,人们要进入地板下面的空间时,就会认识到——由于公差过于精密——需要很大的力量才能打开地板块;然后,在把地板块放回原处的时候,通常地板块无法xx复原,不得不用脚用力在上面跺。而且,在使用工具翻开地板块的时候,经常会损坏它们。
洁净室:
定义:气流以不均匀速度不平行流动、伴有回流或涡流的洁净室。
原理:乱流洁净室靠送风气流不断稀释室内空气,将污染空气逐渐稀释,来实现洁净的(乱流洁净室一般设计在千级以上至30万级净化级别)。
特性:乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净与洁净级别。换气次数决定定义中的净化级别(换气次数越多,净化级别越高)
(1)自净时间:是指洁净室按设计换气次数开始送风到洁净室,室内含尘浓度达到所设计的净化级别的时间。 1,000级希望不超过20min(分钟) (可取15min计算) 10,000级希望不超过30min(分钟) (可取25min计算) 100,000级希望不超过40min(分钟) (可取30min计算)
(2)换气次数(按上述自净时间要求设计)1,000级 43.5—55.3次/小时 (规范:50次/小时) 10,000级 23.8—28.6次/小时 (规范:25次/小时) 100,000级 14.4—19.2次/小时 (规范:15次/小时)
优点:构造简单、系统建造成本,洁净室之扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级。
缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再激1活,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。
众所周知,环境污染主要是工业污染造成的。其中,大气污染和水体污染一方面对人们的健康造成影响,另外一方面也会影响生产过程和产品质量。综上所述,为了减少室内污染对生产过程的影响,就必须通过洁净技术来改善或解决室内污染问题。可以肯定,在普通的生产车间想要控制整个微环境的悬浮粒子浓度,使其达到工艺要求的洁净程度是xx不可能的。只有建造无尘车间,采用密闭的结构,合理的气流组织及合理的压差,才能使其微环境内达到所要求的空气洁净度,满足生产要求。