常用二元、三元标准气体

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    常用二元、三元标准气体
    序号
    组分
    常用浓度范围
    平衡气
    1
    O2
    3μmol/mol-百分比含量
    N2、Ar、He
    2
    CO
       0.5μmol/mol-百分比含量
    N2、Ar、He、H2
    3
    CO2
    0.5μmol/mol-百分比含量
    N2、Ar、He、H2
    4
    CH4
    0.5μmol/mol-百分比含量
    N2、Ar、He、H2
    5
    H2
    2μmol/mol-百分比含量
    N2、Ar、He
    6
    N2
    5μmol/mol-百分比含量
    Ar、He、H2
    7
    SF6
    1μmol/mol-百分比含量
    N2、Ar、He、H2
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