序号 |
组分 |
常用浓度范围 |
平衡气 |
1 |
O2 |
3μmol/mol-百分比含量 |
N2、Ar、He |
2 |
CO |
0.5μmol/mol-百分比含量 |
N2、Ar、He、H2 |
3 |
CO2 |
0.5μmol/mol-百分比含量 |
N2、Ar、He、H2 |
4 |
CH4 |
0.5μmol/mol-百分比含量 |
N2、Ar、He、H2 |
5 |
H2 |
2μmol/mol-百分比含量 |
N2、Ar、He |
6 |
N2 |
5μmol/mol-百分比含量 |
Ar、He、H2 |
7 |
SF6 |
1μmol/mol-百分比含量 |
N2、Ar、He、H2 |