产品尺寸范围 |
3-7寸 |
最小缺陷尺寸 |
0.08mm |
搬送精度 |
X±0.02mm Y±0.02mm |
适用产品 |
LCM+CG 、Cell、Open Cell |
节拍 |
3.5S |
电压/功率 |
AC220V / 50HZ /10KVA |
漏检率 |
≤1% |
过检率 |
≤5% |
空气源压力 |
0.5-0.7kgf/cm |
洁净度 |
0.5um |