全自动ITO检测机,备主要用于检测TFT-CELL及Module裸露电极区域线路异常(因制程和操作不当导致的划伤,从而引起的线路open或short等缺陷)和线路微划伤(ITO未划透,暂时可以通电),检测系统需采用微分干涉成像技术或其它可以识别线路微划伤(ITO未划透,暂时可以通电)的成像技术,并采用先进算法判定出缺陷,主要包括自动上料,产品搬送单元、AOI检测单元,自动下料单元等。
产品尺寸范围
3-17寸
最小缺陷尺寸
0.002mm
搬送精度
X±0.02mm Y±0.02mm
适用产品
TFT-CELL及Module裸露电极
节拍
6-12S
电压/功率
AC220V / 50HZ /10KVA
漏检率
≤1%
过检率
≤5%
空气源压力
0.5-0.7kgf/cm
洁净度
0.5um