设备类型:在线全自动3D SPI
特性:3D高精度轮廓测量技术应用
适用基板: 50mm x 70mm - 510mm x 460mm
基板厚度: 0.6mm - 6.0mm
分辨率:10μm - 15μm (可调)
高度测量精度:1μm
外形尺寸:W1000 x D1170 x H1800(mm)
设备重量:740kg