真空探针台

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    真空探针台KT-Z160TZ主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。探针台从操作上来区分有:手动,半自动,全自动从功能上来区分有:温控探针台,真空探  针台(低温探针台)RF探针台,LCD平板探针台,霍尔效应探针台,表面电阻率探针台。普遍应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。自动探针测试台在功能及组成上大同小异,即主要由x-y向工作台,可编程承片台、探卡/探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成


    高低温真空 探针台应用:

    可应用于低温或高温真空环境下被测样品的电学性能测试分析,如:半导体/微电子,电子,机电,物理,化学,材料,光电,纳米,微机电/MEMS,生物芯片,航空航天等科学研究领域,以及IC设计/制造/测试/封装、LEDLCD/OLEDLD/PDPCBFPC等生产制造领域。


    · 结构紧凑,适用于各种变温测试
    · -196℃~400℃(配液氮致冷模块)
    · 气密腔室设计,可通保护气氛
    · 4探针,手动定位(可扩展为6个)

    · 支持改动或定制

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    真空探针台KT-Z160TZ参数

    真空腔体

    腔体材质

    304不锈钢

    上盖开启

    铰链侧开

    加热台材质

    304不锈钢

    内腔体尺寸

    φ160x90mm

    观察窗尺寸

    Φ70mm

    加热台尺寸

    φ60mm

    观察窗热台间距

    75mm

    加热台温度

    ﹣196~400

    加热台温控误差

    ±1

    真空度

    机械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

    允许正压

    ≤0.1MPa

    真空抽气口

    KF25真空法兰

    气体进气口

    3mm-6mm卡套接头

    电信号接头

    SMA转BNC X 4

    电学性能

    绝缘电阻 ≥4000MΩ   介质耐压 ≤500V

    探针数量

    4探针

    探针材质

    钨针  

    探针尖

    10μm

    探针移动平台

    X轴移动行程

    30mm    ±15mm

    X轴控制精度

    ≤0.01mm

    Y轴移动行程

    13mm    ±12.5mm

    Y轴控制精度

    ≤0.01mm

    Z轴移动行程

    13mm    ±12.5mm

    Z轴控制精度

    ≤0.01mm

    电子显微镜

    显微镜类别

    物镜

    物镜倍数

    0.7-4.5

    工作间距

    90mm

    相机

    sony 高清

    像素

    1920※1080像素

    图像接口

    VGA

    LED可调光源

    显示屏

    8

    放大倍数

    19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm,最小可分辨0.08mm





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