高校实验室用郑科探KT-Z1650CVD 小型真空蒸镀仪

我公司专为科研院所及实验室用户群体设计开发的一款小型高真空蒸发镀膜系统。采用大抽速分子泵准无油高真空系统，机架电控一体化设计，整体布局紧凑合理，充分考虑人机工程学的倾斜操控面板和可直观观察蒸发状态的玻璃真空室结构相得益彰。两组/三组蒸发源可兼容金属、有机物蒸发。广泛应用于高校、科研院所制备功能薄膜、蒸镀电极、扫描电镜制样等，特别适合太阳能电池、有机EL、LED显示管研究与开发领域。

小型蒸镀仪 郑州科探KT-Z1650CVD，台式设计、软件自动操控、，非常适合实验室科研使用。
通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面，称为热蒸发镀膜，热蒸发镀膜技术是历史*悠久的PVD镀膜技术之一。热蒸发镀膜机一般主要用于蒸发Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。以下为蒸发镀膜设备的示意图

技术规格：
- 基底尺寸：3英寸，4英寸，6英寸；
- 基底旋转：8转/分钟；
- 热蒸发源：电阻式热蒸发舟，交流电源；
- 腔体：不锈钢或石英腔体可供客户选择；
- 泵：前级干泵，分子泵；

- Load Lock样品传输腔室：手动或自动传输，高真空，支持多种样品衬底(选配)；
- 工艺控制：PC/PLC机制的自动控制、数据处理、工艺记忆储存；
- 原位监控：石英晶振监测(QCM)，光学监测，残余气体分析，其他原位监测技术或控制；
- 衬底固定：单衬底固定，客户化衬底固定方式；

-        衬底夹具：加热，冷却，偏置，旋转等；

-        保护样品：配有样品挡板，可手动或自动开/关挡板，达到及时遮挡样品效果；

技术支持&服务：

1. 技术支持：在合同签订之前，我们的专业工程师会在充分了解客户需求的前提下，为客户做出**的选型和方案设计，使客户充分了解并理解产品技术指标、性能用途、使用场合、注意事项等，以帮助客户做出正确的选择。

2. 安装与培训：在产品使用前，我们会派专业工程师为您提供技术支持、培训及演示服务。

3. 产品质保：我们对产品提供12个月的质保期，在质保期内发生设备或配件损坏由公司负责赔偿或免费维修。（耗材和易损件除外）