大功率溅射仪
面议
大功率溅射仪，桌面式设计，触摸屏控制，石英＋不锈钢腔体，溅射距离可调，自动电动挡板可保护样品和清洗靶材。
离子镀膜技术是PVD技术的一种，是指在PVD沉积过程中，被镀材料形成金属或者非金属等离子体（如Ti离子，N离子），等离子体在偏压电场的作用下，沉积在工件表面上。由于离子镀过程中，离子的能量更强，离子绕射性更好，膜层的结合力更好，膜层致密性也更好，膜层性能更好。
离子镀膜技术的应用非常广泛，常见的有：装饰性镀膜，工具模具硬质镀膜以及各种功能膜层。
大功率溅射仪技术参数；
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控制方式 |
7寸人机界面 手动 自动模式切换控制 |
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溅射电源 |
直流溅射电源 |
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镀膜功能 |
0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 |
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功率 |
≤1000W |
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输出电压电流 |
电压≤1000V 电流≤1A |
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真空 |
机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤5*10^-3Pa |
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溅射真空 |
≤30Pa |
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挡板类型 |
电控 |
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真空腔室 |
石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm |
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样品台 |
可旋转φ62 （可安装φ50基底） |
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样品台转速 |
8转/分钟 |
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样品溅射源调节距离 |
40-105mm |
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真空测量 |
皮拉尼真空计（已安装 测量范围10E5Pa 1E-1Pa） |
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预留真空接口 |
KF25抽气口 KF16放气口 6mm卡套进气口 |
