小型真空高低温探针台
面议
小型真空高低温探针台，高低温真空探针台，高温400℃低温-196℃，10微米探针尖，移动滑块精度≤0.01mm
高低温真空探针台，能够为测试样品提供高真空和极 . 端高温/低温的测试环境，非常适合各种半导体材料、芯片和电子元器件的无损测试，应用方向有：真空&极 . 端温度条件下的芯片/MEMS/NEMS测试；宽温区材料或器件的IV/CV特性测试；LD/LED/PD测试；光谱特性测试；霍尔效应测量；可变磁场环境中电磁输运特性测试；微波射频测试；瞬态光电流响应测试；拉曼-瞬态荧光寿命成像；电-光效应测试；超导测试试验等。
产品特点
◆高真空度，真空度优于1×10-3 Pa
◆高精度温控系统，自动冷媒流量控制，-196℃到400℃温度区间内精，确控制样品台温度
◆防辐射屏设计，保证样品温度均匀
◆兼容高倍率金相显微镜
◆采用液氮或氦气压缩机制冷
小型真空高低温探针台参数
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真空腔体 |
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类型 |
加热型350℃ 或者加热制冷型 室温到350℃ 室温到-190℃ |
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腔体材质 |
304不锈钢 |
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腔体内尺寸 |
φ90x40mm |
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腔体上视窗尺寸 |
Φ42mm（选配凹视窗Φ22mm） |
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腔体抽气口 |
KF16 |
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腔体进气口 |
公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选 |
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腔体出气口 |
公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选 |
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腔体正压 |
≤0.05MPa |
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腔体真空度 |
机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟） |
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样品台 |
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样品台材质 |
304不锈钢 |
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样品台尺寸 |
26X26mm |
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样品台-视窗 距离 |
30mm（可选凹视窗间距15mm） |
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样品台测温传感器 |
A 级PT100铂电阻 |
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样品台温度 |
室温到350℃（可选高低温样品台 高温350℃低温-190℃） |
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样品台测温误差 |
±0.2℃ |
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样品台变温速率 |
高温10℃/min 低温5℃/min 最，大值 |
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温控仪 |
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温度显示 |
7寸人机界面 |
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温控类型 |
标准PID温控 +自整定（可选30段编程控温） |
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温度分辨率 |
0.1℃ |
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温控精度 |
±0.5℃ |
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温度信号输入类型 |
PT100热电阻 （可选 K S B型热电偶） |
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温控输出 |
直流线性电源加热（液氮流量线性控制液氮制冷） |
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辅助功能 |
温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 |
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探针 |
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电信号接头 |
配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米 |
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电学性能 |
绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA |
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探针数量 |
4探针（可定做6探针） |
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探针材质 |
镀金钨针 |
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探针尖 |
10μm |
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探针移动平台 |
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X轴移动行程 |
12mm ±6mm |
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X轴控制精度 |
≤5μm |
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Y轴移动行程 |
12mm ±6mm |
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Y轴控制精度 |
≤5μm |
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Z轴移动行程 |
12mm ±6mm |
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Z轴控制精度 |
≤5μm |
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数码显微镜 |
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显微镜类别 |
物镜放大+电子放大 |
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显微镜放大倍数 |
100倍 |
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显微镜工作间距 |
50-150mm |
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相机分辨率 |
1080P 60帧 |
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相机信号输出 |
HDMI输出+USB输出 |
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LED可调光源 |
LED光源 |
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显示屏 |
5寸 屏幕一体机 |
