KT-S2DQX-C 性能参数
供电电源 AC220V(AC110V可选)
工作电流 整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵)
射频电源功率 150W
射频频率 13.56MHz
特性阻抗 50欧姆,手动匹配
耦合方式 电容耦合式
真空度 ≤100Pa
腔体材质 高纯石英
清洗物品容积 500ml
清晰物品重量 2.5KG
石英管口径 Φ50
气体流量 手动控制
过程控制 触摸屏自动控制+手动调节流量
清洗时间 触屏控制
开盖方式 铰链侧开式法兰