上海伯东 HVA 真空闸阀 真空插板阀 81000 系列
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真空插板阀81000系列
上海伯东美国 HVA 超高 81000 系列, 阀门主体材质铝, 适用于真空度 1X10 - 7 mbar 和烘烤温度不超过 150°C 的高真空应用. HVA 81000系列专为系统集成设计研发, 广泛应用于半导体, 太阳能, LED / FPD, 涂料, 镀膜和生物制药.
高 81000系列 产品性能：
1. 真空炉中一体钎焊完成, 确保了阀门的*大完整性, 有效delete了虚漏和缺陷部分, 避免阀体变形
2. 比同等口径的不锈钢阀门氢气脱气率低
3. 适用寿命长: 400,000启闭次数
4. 高性能 PEEK 组件
HVA 81000系列 技术参数：
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阀门材质： |
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阀门主体 |
6061-T6铝 |
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轴封 |
[DN40-80] 铝; [DN100-500] 304SS |
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支架 |
6061-T6/ PEEK |
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密封件 |
氟橡胶 |
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阀门密封方式： |
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高真空 |
氟橡胶 |
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漏率 |
<2×10-9 mbar l/s |
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差压关闭 |
1 bar |
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真空： |
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压力范围 |
高真空1x10-7 mbar |
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漏率 |
< 2x10-9 mbar l/S |
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差压关闭 |
1.6 bar (任意位置) |
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开启前*大压力 |
≤ 30 mbar |
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烘烤温度（不含电磁阀）： |
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阀门主体 |
120 °c |
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驱动方式 |
80 °c |
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使用寿命：400,000启闭次数 |
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公称通径：DN100-320 mm |
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美国 HVA -美国*大制造商, 美国HVA原装, 超过50年的高真空和超高设计与制造. 主营高, 广泛应用于半导体, 镀膜, 激光, 科研, 工业等领域. 上海伯东是美国HVA 在中国地区only指定总代理商。
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