上海伯东 HVA 真空闸阀, 真空插板阀 21200 系列

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    HVA 真空闸阀, 真空插板阀 21200 系列

    美国   21200 系列
    美国 HVA 百万周期 21200 系列特别适合 1x10- 9 mbar 高真空和烘烤温度不超过 150°C的应用。超长使用寿命1,000,000 启动次数。清洁和高密封性保证 HVA 进口阀门与低温泵、涡轮分子泵,离子泵等perfect联用。
    HVA 百万周期 21200 系列产品特点
    直线驱动允许使用焊接波纹管来密封驱动器。独特的气缸设计使冲击和振动减少到*小。HVA 百万周期 21200 系列真空腔内没有机械锁,因此特别适合应用于半导体制造和其他要求低振动的敏感加工工业。所有移动的接头都有硬轴有效减少微粒的产生并且使驱动更容易。HVA 不锈钢阀体提供了真空阀门业界*小的内部表面区域。阀体和所有内部部件都是在1100 ℃,1x10E-6 Torr的真空炉中一体钎焊完成,确保了阀门的*大完整性。 在保养方面,支架部分可以拆掉而不用把真空阀门从整个系统中拆卸出来。阀门手动、气动可选,标准或定制法兰满足不同应用。HVA 标准周期21200 系列可任意位置安装。电磁阀控制并带有手动超控。
    HVA 百万周期 21200 系列技术参数

    阀门材质:

    阀门主体

    304不锈钢

    焊接波纹管轴封

    AM-350

    驱动轴和驱动销

    硬质不绣钢

    密封件

    氟橡胶

    真空:

    压力范围

    1x10-9 mbar

    漏率

    < 2x10-9  mbar l/S

    差压关闭

    1 bar (任意位置)

    开启前*大压力

    ≤ 30 mbar

    烘烤温度(不含电磁阀):

    佛橡胶密封

    150 °c

    驱动方式

    手动 60 °c;气动 60 °c

    使用寿命:1,000,000启闭次数

    公称通径:DN16-320 mm

    HVA 百万周期 21200 产品订货号及2D,3D图展示

    DN

    Model

    KF/ISO-F

    ISO-K

    CF-F*

    mm

    inch

    Number

    3 (Bolted)

    6 (Clamped)

    0 or 4 (Conflat)

    16

    0.625

    21212-006_



    -



    40

    1.5

    21212-015_R



    -



    50

    2

    21212-020_R



    -



    63

    2.5

    21212-025_R



    2D




    80

    3

    21212-030_R



    2D




    100

    4

    21212-040_R



    2D




    160

    6

    21212-060_R



    2D




    200

    8

    21212-080_R



    2D




    250

    10

    21212-100_R



    -



    320

    12

    21212-120_R



    -



    HVA 百万周期 21200 产品部件图


    美国 HVA -美国*大制造商。美国HVA原装,超过50年的高真空和超高设计与制造。主营高,广泛应用于半导体、镀膜、激光、科研、工业等领域。上海伯东是美国HVA 在中国地区only指定总代理商。
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    上海伯东: 罗先生                               台湾伯东: 王女士
    T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
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