上海伯东德国 Pfeiffer 磁悬浮涡轮分子泵 ATH 1600-3200M
面议
磁悬浮涡轮分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M
上海伯东德国 Pfeiffer 磁悬浮 ATH 1600-3200M, ATP 2300M: 抽速范围在 1400-2800l/s 的磁悬浮. ATH 系列磁悬浮拥有5轴磁轴承监测系统和实时的转子位移自动修正功能确保长时间的稳定性和可靠性, 同时运行时也非常安静. 磁悬浮 ATH 系列广泛应用于半导体, 镀膜和离子刻蚀等行业.
Pfeiffer 磁悬浮 ATH 1600-3200M, ATP 2300M 优点
1. 清洁无油, 大抽速
2. 免维护低成本保养费
3. 更低的振动和噪音
4. 不受限的任意方向安装
5. 无工艺污染
P
feiffer 磁悬浮 ATH 1600-3200M, ATP 2300M 技术参数
|
型号 |
连接尺寸 DN |
抽速 l/s |
压缩比 |
最 高启动压强hPa |
极限压力 |
全转速气体流量hPa l/s |
启动时间 |
重量 |
|||
|
进气口 |
排气口 |
氮气 |
氦气He |
氢气 H2 |
氮气 |
氮气N2 |
hPa |
氮气N2 |
min |
kg |
|
|
ATH 1600 MT |
250 |
40 |
1,400 |
970 |
540 |
> 1X108 |
1.7 |
< 6X10–9 |
67 |
6 |
42 |
|
ATH 2300 MT |
250 |
40 |
2,150 |
1,800 |
1,100 |
> 1X108 |
2.9 |
< 6X10–9 |
67 |
8 |
68 |
|
ATH 2800 MT |
250 |
40 |
2,200 |
2,400 |
1,550 |
> 1X108 |
2.1 |
< 6X10–9 |
84 |
10 |
93 |
|
ATH 3200 MT |
320 |
40 |
2,800 |
2,500 |
1,700 |
> 1X108 |
2.1 |
< 6X10–9 |
84 |
10 |
93 |
|
|
320 |
40 |
1,950 |
2,050 |
1,700 |
> 1X108 |
2.1 |
< 6X10–9 |
37 |
8 |
60 |
MT 型号的分子泵配有集成加热带可以进行温度控制. 其自带加热系统和水冷系统同时作用, 可以确保泵的工作温度相对恒定 (最 高工作温度75°C), 同时尽可能减少化学物或副产物在泵体内因冷凝而产生的沉积.
上海伯东 Pfeiffer 抽速范围 10 至 2700 L/S, 转速最 高 90,000 rpm, 极限真空最 大 1E-11 mbar, 对小分子气体具有更高的压缩比, 实践证明 Pfeiffer 运行时间可以达到 100,000 小时! 提供复合轴承和五轴全磁浮二大系列满足不同应用, 推荐搭配 和共同使用.
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上海伯东: 罗女士 台湾伯东: 王女士
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