金属和非金属固体材料中的氧氮氢是采用惰性气体熔融原理来检测，可以在ONH-703氧氮氢分析仪上同时测定氧氮氢含量，或是在ON-702上测氧氮，在N-701上单测氮，在H-701上单测氢。在进行氧氮氢的测定中，将称量后的试样放在石墨坩埚中，在氦气（单测氧可用氩气）气流中通过高温加热熔融。试样中的氧与石墨坩埚中的碳反应生成一氧化碳（CO），试样中的氮以氮气的形式逸出，这些混合气由氦气送到转化炉中，一氧化碳（CO）转化为二氧化碳（CO2），氮气不发生反应。通过转化炉后的混合气体被送到红外检测池中，在这里二氧化碳（CO2）被检测。然后，通过红外检测后的混合气体中的二氧化碳（CO2）和水被吸附后，剩余的氮气，氢气和氦气混合气体通过热导检测池被检测。
