荏原ESR100CN多级罗茨干式真空泵 厦门太星机电

荏原ESR100CN干式真空泵是日本荏原（EBARA）出品的一款水冷洁净型多级无油罗茨干式真空泵，采用多级罗茨结构设计，无油返流，可适配轻度腐蚀工况。该泵标称抽速范围为4000～8500L/min，极限真空可达0.2Pa，属于典型的无油干式真空泵类别，适用于对洁净度要求较高的真空制程环境。

作为一款成熟的多级罗茨真空泵，ESR100CN采用水冷方式控制泵腔温度，运行稳定，适合长时间连续作业。厦门太星机电有限公司提供该型号设备的供应、选型咨询及配套服务，可根据用户实际工况需求提供针对性方案。如需了解更多技术参数或选型建议，可联系获取详细信息。

EBARA干泵在半导体真空设备领域应用广泛，ESR100CN作为其中的代表性型号，具备以下主要技术规格：

• 标称抽速：4000～8500 L/min
• 极限真空：0.2 Pa
• 冷却方式：水冷
• 结构类型：多级罗茨干式
• 润滑方式：无油（齿轮箱油脂润滑）
• 适用工况：洁净及轻度腐蚀性气体

该水冷罗茨干泵在实际应用中，主要适用于以下场景：

• 半导体晶圆制造中的低压化学气相沉积（LPCVD）、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）等制程
• 光电显示面板生产中的薄膜沉积工艺
• 科研院所及实验室的精密真空设备配套
• 锂电池生产中的真空干燥、注液等环节

厦门真空泵用户在选用该设备时，建议关注以下几点：首先，确认工艺气体的成分及腐蚀性程度，ESR100CN可适配轻度腐蚀工况，但对于强腐蚀性气体需评估兼容性；其次，水冷系统需保证冷却水流量及水质符合要求，以维持泵体温度稳定；再次，安装环境应保持通风良好，便于设备散热及日常维护。如需技术支持或设备维护，可联系团队。

厦门太星机电有限公司长期从事真空泵及相关设备的供应与服务，可为用户提供荏原ESR100CN干式真空泵的整机销售、配件供应及技术支持。更多产品信息及服务详情，可访问了解。

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