PTFE四氟晶圆清洗罐可定制低本底无析出无吸附可反复使用

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    PTFE晶圆清洗罐是半导体、光伏硅片、蓝宝石晶片湿法清洗专用容器,替代PP、PVDF清洗槽与玻璃清洗罐,补齐常规罐体不耐光刻剥离液、超声易开裂、析出钠离子污染晶圆的短板。依托PTFE化学惰性、低释气、零吸附、抗超声疲劳的特性,主要用于8英寸及以内半导体裸晶圆、图形化晶圆、刻蚀后晶圆的全流程湿法清洗,广泛应用晶圆代工、芯片封装、光伏硅片制造、第三方半导体检测无尘车间,是湿法工艺核心承载耗材。
    用于晶圆氧化层去除与表面杂质浸泡清洗。晶圆刻蚀、研磨后表面会残留硅粉、氧化层、有机光刻胶残屑,行业普遍采用氢氟酸、氨水、双氧水混合洗液浸泡处理。普通塑胶罐体长期接触强氧化性洗液会出现溶胀、内壁剥落,玻璃罐体无法耐受氢氟酸腐蚀且易碎。PTFE清洗罐不与各类清洗药液发生反应,卡槽可单片隔离晶圆,避免晶圆片与片之间相互摩擦产生划痕,保障晶圆表面镜面完整性。
    适配超声波协同清洗与高温煮洗工况。晶圆微小纳米颗粒杂质依靠静态浸泡无法处理,需要搭配超声波震荡清洗,常规塑胶罐长期超声震动易疲劳开裂、释放微尘。该清洗罐一体成型无拼接缝隙,抗高频超声震荡,长期使用不开裂、不变形,同时可耐受150℃高温药液煮洗,满足晶圆深层除胶、重金属离子脱附需求,且不会释放挥发性气体污染无尘车间。
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