中山真空热处理工艺一般包括加热、保温、冷却三个过程，有时只有加热和冷却两个过程。这些过程互相衔接，不可间断。加热是中山真空热处理的重要工序之一。金属中山真空热处理的加热方法很多，最早是采用木炭和煤作为热源，近而应用液体和气体燃料。电的应用使加热易于控制，且无环境污染。利用这些热源可以直接加热，也可以通过熔融的盐或金，以至浮动粒子进行间接加热。金属加热时，工件暴露在空气中，常常发生氧化、脱碳(即钢铁零件表面碳含量降低)，这对于中山真空热处理后零件的表面性能有很不利的影响。因而金属通常应在可控气氛或保护气氛中、熔融盐中和真空中加热，也可用涂料或包装方法进行保护加热。加热温度是中山真空热处理工艺的重要工艺参数之一，选择和控制加热温度，是保证中山真空热处理质量的主要问题。加热温度随被处理的金属材料和中山真空热处理的目的不同而异，但一般都是加热到相变温度以上，以获得高温组织。

  另外转变需要一定的时间，因此当金属工件表面达到要求的加热温度时，还须在此温度保持一定时间，使内外温度一致，使显微组织转变xx，这段时间称为保温时间。采用高能密度加热和表面中山真空热处理时，加热速度极快，一般就没有保温时间，而化学中山真空热处理的保温时间往往较长。