管式炉

是新的一种厂家用炉,如果您想了解相关的咨询请关注河南生产厂家河南诺巴迪!

下面我给大家讲解下管式炉的特点

管式炉主要特点:

      1、通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。

      2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。

      3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。

      4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。

      5、广泛应用于:各种薄膜的生长,如:SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等。

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