某光学薄膜制造商采用20cm 的溅射源为 KRI 考夫曼 RFICP220 辅助溅射制备 LaF3 薄膜.
伯东 KRI RFICP220 技术参数:
|
型号 |
RFICP220 |
|
Discharge |
RFICP 射频 |
|
离子束流 |
>800 mA |
|
离子动能 |
100-1200 V |
|
栅极直径 |
20 cm Φ |
|
离子束 |
聚焦, 平行, 散射 |
|
流量 |
10-40 sccm |
|
通气 |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
|
典型压力 |
< 0.5m Torr |
|
长度 |
30 cm |
|
直径 |
41 cm |
|
中和器 |
LFN 2000 |
* 可选: 灯丝中和器; 可变长度的增量
.jpg)
运行结果:
1. 采用 KRI 考夫曼 RFICP220 镀制的 LaF3 薄膜折射率更高, 且不存在折射率的梯度分布
2. 制备的 LaF3薄膜的环境稳定性更高
3. 溅射制备的减反膜透过率为99.2%, 反射率为 0.1%, 表现了较好的光学特性
伯东是德国 , , , , 美国 , 美国HVA 真空阀门, 美国 , 美国 Ambrell 和日本 NS 等进口品牌的指定代理商.
若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 罗先生 台湾伯东: 王女士
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958
伯东版权所有, 翻拷必究!
