上海某大学研究中心采用伯东 KRI 考夫曼射频离子源 FRICP380 辅助制备三维原子探针样品, 主要是对三维原子探针样品进行蚀刻, 使样品变薄
伯东 KRI 射频 RFICP380 技术参数:
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射频型号 |
RFICP380 |
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Discharge 阳极 |
射频 RFICP |
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离子束流 |
>1500 mA |
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离子动能 |
100-1200 V |
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栅极直径 |
30 cm Φ |
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离子束 |
聚焦, 平行, 散射 |
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流量 |
15-50 sccm |
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通气 |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
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典型压力 |
< 0.5m Torr |
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长度 |
39 cm |
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直径 |
59 cm |
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中和器 |
LFN 2000 |
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运行结果:
1. 采用 KRI 考夫曼射频离子源 FRICP380可以克服锆合金脆断的问题
2. 制备得到的样品满足了三维原子探针观察样品的要求
3. 可实现三维原子探针样品的快速, 便捷, 制备
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