伯东 KRI 考夫曼射频离子源 RFICP140 用于清洗继电器

电子元器件-继电器在生产过程中由于手印、焊剂、交叉污染、自然氧化等, 其表面会形成各种玷污, 影响电子元器件在生产过程中的相关工艺质量, 例如继电器的接触电阻, 从而降低了电子元器件的可靠性和成品合格率.

 

某制造商为了提高电子元器件-继电器的可靠性和成品合格率, 采用伯东 KRI 考夫曼射频离子源 RFICP140 对继电器进行离子束清洗.

 

伯东 KRI考夫曼 RFICP140 技术参数:

型号

RFICP 140

Discharge

RFICP 射频

离子束流

>600 mA

离子动能

100-1200 V

栅极直径

14 cm Φ

离子束

聚焦, 平行, 散射

流量

5-30 sccm

通气

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型压力

< 0.5m Torr

长度

24.6 cm

直径

24.6 cm

中和器

LFN 2000

 

该制造商通入氩气, 利用 KRI 考夫曼 RFICP140 电离氩气产生氩离子, 形成氩离子束对样品进行轰击, 以溅射刻蚀, 从而达到清洗的效果.

 

氩离子优点是不会产生氧化副产物, 可以保持被清洗物的化学纯净性.

 

运行结果:

通过清洗前后接触电阻测试记录可以看出, 清洗后不合格产品数大幅降低, 因此采用KRI 考夫曼 RFICP140清洗可以有效地降低继电器的接触电阻, 从而提高产品的合格率.

 

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