为了解决飞秒激光加工硬质材料所带来的表面质量差的问题, 国内某制造商用伯东 辅助飞秒激光加工技术对碳化硅微纳结构表面进行刻蚀.
伯东 KRI 聚焦型射频 RFICP 380 技术参数:
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射频型号 |
RFICP 380 |
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Discharge 阳极 |
射频 RFICP |
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离子束流 |
>1500 mA |
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离子动能 |
100-1200 V |
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栅极直径 |
30 cm Φ |
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离子束 |
聚焦 |
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流量 |
15-50 sccm |
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通气 |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
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典型压力 |
< 0.5m Torr |
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长度 |
39 cm |
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直径 |
59 cm |
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中和器 |
LFN 2000 |
推荐理由:
使用 KRI 聚焦型射频 RFICP 380可以准确、灵活地对样品选定的区域进行刻蚀、减薄.
工艺简介：
在碳化硅表面制备微纳结构图形, 然后通过 KRI 聚焦型射频 RFICP 380 对碳化硅微纳结构进行刻蚀, 以调控结构的线宽和深度.
运行结果:
1. 结构表面粗糙度由约 106nm 降低到 11.8nm
2. 碳化硅线条结构周围的毛刺基本消失, 线条结构表面的粗糙度得到改善, 降低结构表面的粗糙度实现高平滑度微光学元件的制备
3. 通过 KRI 聚焦型射频 RFICP 380 碳化硅菲涅尔波带片展现出良好的聚焦和成像效果
伯东是德国 , , , , 美国 , 美国, 美国 , 美国 Ambrell 和日本 NS 等进口品牌的指定代理商.
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