6. 分子泵返油: 多数是由于前级泵返油导致, 建议立即送修检测
7. 无法启动: 没有供电, 控制器没有响应, 没有收到启动信号, 转子卡死或轴承损坏
8. 常见分子泵控制器报警
Err 006: 启动时间设定太短, 系统漏气或放气阀打开, 前级泵极限真空度问题
Err 021 / Err 108: 控制器问题
Err117: 控制器问题, 冷却问题, 系统漏气
造成分子泵故障的原因还有很多, 发现问题并及时联络上海伯东进行检测, 可以快速解决分子泵问题
上海伯东 型号包含:
HiPace 系列: HiPace 80, HiPace 300, HiPace 700, HiPace 1200, HiPace 2300 等.
Hicube 系列: Hicube 80, Hicube 300, Hicube 700 等
TMH TPH 系列: TMH 071, TMH 260, TMH 261, TMH 262, TMH 520, TMH 521, TMH 1001, TPH 1201, TPH 1501, TPH 2101, TPH 2301.
特殊型号: TMH 071-015-002, TMH 071-010-005, TMH 261-250, splitflow 50, splitflow 80, splitflow 300 / 310
分子泵配件: 电源: TPS 100, TPS 200, TPS 300, TPS 600, TPS 110, TPS 301, TPS 401, DCU 100, DCU 200 DCU 300, DUC 600, DCU 110, DCU 310, DCU 400, DCU 001, DCU 002
控制器: TC 100, TC 600, TC 750, TCP 380, TCP 600, TCP 5000, TC 110, TC400, TC 1200, TC 110 PB, TC 400 PB, TC 1200 PB
冷却单元, 通讯线, 连接阀等
若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 罗先生 台湾伯东: 王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 108 T: +886-3-567-9508 ext 161
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