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针对常规铸锭方式所生产的多晶硅锭位错密度高、晶界无规则分布和晶粒分布不均匀等问题,国内部分铸锭厂家借鉴了类单机的生长工艺,通过在坩埚底部铺设碎多晶硅料等方法,利用硅料半熔工艺制得了晶粒分布均匀的{gx}多晶硅锭,其中最为知名的如台湾中美矽晶的A3+硅片,国内的协鑫S2+和赛维的M2+硅片等。虽然利用半熔引晶生长技术,可以获得位错密度低、晶界结构规则且晶粒分布均匀的{gx}多晶硅锭,但存在以下缺陷:(1)半熔引晶生长工艺在熔化阶段,需要通过插入高纯石英棒来控制硅料的熔化高度,操作难度高;(2)半熔引晶生长工艺 由于在熔化阶段存在部分未熔化硅料,导
致硅锭底部的硅料凹凸不平整,且在侧面有气孔存在,使得硅料难以打磨回收再利用,导致硅料损耗较大;(3)半熔引晶生长工艺由于底部有未熔化的硅料,导致单锭的硅料有效利用部分相较传统硅锭生产工艺有明显降低,且加工成本较高,不利于光伏平价上网目标的实现。
冶金法生产太阳能多晶硅用定向凝固器及多晶硅生产方法
[简介]: 多晶硅的挡板晶圆60置放在支撑塔20的非生产沟槽中,用于热处理单晶硅晶圆。多晶硅较佳为随机定向多晶硅ROPSi,优选通过使用随机定向晶种例如CVD成长的硅而以Czochralski方法来成长。热炉管10的全硅热区可以包括...
挡板晶圆及其所用的随机定向多晶硅
[简介]: 本发明属于多晶硅提纯领域,具体涉及一种多晶硅定向凝固装置,包括炉体,炉体内放置有石英坩埚,石英坩埚外壁由内向外依次环绕设置有石墨发热体、保温套筒和感应线圈,石英坩埚底部设置有与炉体底部通连的拉锭机构,保温套筒...
因而需要探索一种新的多晶硅锭的制备方法,以解决上述存在的技术问题。
本发明的目的在于克服现有技术中的缺陷,提供一种{gx}多晶硅锭的制备方法,所述方法可制得转换效率高的多晶硅锭,制得的多晶硅锭晶粒细小且分布均匀,对应晶砖少子寿命高且低少子寿命杂质点少,无明显枝晶和孪晶产生。
本发明是通过以下技术方案予以实现的。
一种{gx}多晶硅锭的制备方法,所述方法步骤如下:(I)将硅溶胶与高纯石英砂料浆按5: 5 - 7: 3的质量比混合均匀形成混合浆料,将混合浆料刷涂在多晶硅铸锭炉的坩埚的内底部形成粘结层;(2)再将形核源刷涂或洒涂在所述粘结层上形成形核源层,所述形核源的粒度为30 - 100目,形核源层的厚度为I 一 2mm; (3)然后在500 — 700°C下烘干2 — 4h ;
(4)再在形核源层的上层及坩埚的内侧壁刷涂氮化硅涂层;(5)然后再在位于形核源层上方的氮化硅涂层上铺设一层形核源保护层,以防止形核源在装料过程中遭到破坏,所述形核源保护层由完整的片状废硅料铺设而成,所述保护层的厚度为I一 20_ ;
(6)向坩埚内装载固体硅料,关闭多晶硅铸锭炉的保温罩,加热坩埚至1530 - 1560°C直至固体硅料xx熔化成硅液;(7)
通过调整多晶硅铸锭炉的加热功率来控制坩埚内部的温度梯度,使得坩埚内部形成由底部向上的垂直温度梯度,打开保温罩,将保温罩升高5 — 8cm,将多晶铸锭的顶部中央区域温度(TCl)降低至1420 - 1432°C,使得坩埚底部温度降低,坩埚底部硅液处于过冷状态,利用形核源层形核结晶从而得到{gx}多晶硅锭,所述形核结晶过程中过冷度控制在-10~-35K。