大口径 RFICP 380
上海伯东美国 KRi 大口径 RFICP 380, 3层栅极设计, 栅极口径 38cm, 提供离子动能 100-1200eV 宽束离子束, 离子束流 > 1000mA, 满足 300 mm (12英寸)晶圆应用. 广泛应用于离子束刻蚀机.
KRi RFICP 380 特性
1. 放电腔 Discharge Chamber, 无需电离灯丝, 通过射频技术提供高密度离子, 工艺时间更长. 2kW & 1.8 MHz, 射频自动匹配
2. 离子源结构模块化设计
3. 离子光学, 自对准技术, 准直光束设计, 自动调节技术保障栅极的使用寿命和可重复的工艺运行
4. 全自动控制器
5. 离子束动能 100-1200eV
6. 栅极口径 38cm, 满足 300 mm (12英寸)晶圆应用
RFICP 380 技术规格:
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阳极
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电感耦合等离子体
2kW & 1.8 MHz
射频自动匹配
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阳极功率
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>1kW
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离子束流
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> 1000mA
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电压范围
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100-1500V
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离子束动能
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100-1200eV
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气体
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Ar, O2, N2,其他
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流量
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5-50sccm
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压力
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< 0.5mTorr
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离子光学, 自对准
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OptiBeamTM
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离子束栅极
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38cm Φ
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栅极材质
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钼
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离子束流形状
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平行,聚焦,散射
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中和器
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LFN 2000
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高度
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38.1 cm
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直径
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58.2 cm
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锁紧安装法兰
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12”CF
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RFICP 380 基本尺寸:
上海伯东美国考夫曼 KRI 大口径 RFICP 220, RFICP 380 成功应用于 12英寸和 8英寸磁存储器刻蚀机, 8英寸量产型金属刻蚀机中, 实现 8英寸 IC 制造中的 Al, W 刻蚀工艺, 适用于 IC, 微电子,光电子, MEMS 等领域.
作为蚀刻机的核心部件, 提供大尺寸, 高能量, 低浓度的离子束, 接受客户定制, 单次工艺时间更长, 满足各种材料刻蚀需求!
